PFA軟管因其具有優異的耐化學腐蝕性、耐溫性、低摩擦系數和良好的電絕緣性等特點,被廣泛應用于半導體制造、化工、等領域的設備中。以下是具體介紹:
半導體制造設備:在晶圓清洗和蝕刻工序中,PFA軟管用于輸送超純水、氫氟酸等高純度化學品。在化學氣相沉積(CVD)設備中,可用于輸送工藝氣體。此外,PFA軟管在真空環境下幾乎不出氣,是連接真空泵和工藝腔室的理想選擇。
化工設備:化工生產中常涉及各種強酸、強堿、有機溶劑等腐蝕性介質的輸送,PFA軟管能夠耐受這些介質的腐蝕,可用于反應釜、精餾塔、貯槽等設備的物料輸送管道,以及泵和閥門之間的連接,既能減少震動傳遞,又能適應的位移。
設備:在CT機的滑環系統中,PFA軟管可保護數據傳輸線,降低信號干擾。手術機器人機械臂關節處的線纜也可用PFA波紋管保護,確保可靠性和潔凈度。另外,生化分析儀等體外診斷設備的液體管路系統,也依賴PFA波紋管的化學惰性來輸送試劑等液體。
光伏設備:在單晶硅生長環節,PFA軟管可用于多晶硅還原爐的載氣輸送系統。在光伏電池的制絨工藝中,能耐受80℃的氫氧化鈉溶液,用于相關設備的管道系統。在新興鈣鈦礦電池領域,還可用于有機-無機雜化材料的涂布設備中實現傳輸。
熱力工程設備:在管道系統中,PFA波紋管可以作為補償器的一部分,用以應對溫度變化引起的熱脹冷縮。在一些的化工或制藥行業中,PFA軟管可制成波紋管應用于熱交換器中,確保設備長期穩定運行。
設備:在污水處理和廢氣排放處理過程中,PFA軟管可用于輸送廢液和廢氣。其耐腐蝕性和耐溫性能夠適應惡劣的工作環境,確保設備的正常運行。